发明名称 APPARATUS FOR PERFORMING AT LEAST ONE PROCESS ON A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1299571(A1) 申请公布日期 2003.04.09
申请号 EP20010952049 申请日期 2001.06.26
申请人 OTB GROUP B.V. 发明人 KOK, RONALDUS, JOANNES, CORNELIS, MARIA;HOMPUS, MICHAEL, ADRIANUS, THEODORUS;EVERS, MARINUS, FRANCISCUS, JOHANNES;HABRAKEN, ANTON;DINGS, FRANCISCUS, CORNELIUS
分类号 B01J3/00;C23C14/56;C23C16/44;F16K31/06;F16K51/02;H01F7/04;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
主权项
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