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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR PERFORMING AT LEAST ONE PROCESS ON A SUBSTRATE
摘要
申请公布号
EP1299571(A1)
申请公布日期
2003.04.09
申请号
EP20010952049
申请日期
2001.06.26
申请人
OTB GROUP B.V.
发明人
KOK, RONALDUS, JOANNES, CORNELIS, MARIA;HOMPUS, MICHAEL, ADRIANUS, THEODORUS;EVERS, MARINUS, FRANCISCUS, JOHANNES;HABRAKEN, ANTON;DINGS, FRANCISCUS, CORNELIUS
分类号
B01J3/00;C23C14/56;C23C16/44;F16K31/06;F16K51/02;H01F7/04;(IPC1-7):C23C14/56
主分类号
B01J3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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