| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR ELECTRON BEAM IRRADIATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
PL351243(A1) |
申请公布日期 |
2003.04.07 |
| 申请号 |
PL20010351243 |
申请日期 |
2001.04.12 |
| 申请人 |
EBARA CORP. |
发明人 |
KIGA MASAHIRO;NAKAMURA ATSUSHI |
| 分类号 |
H01J33/00;H01J33/02;H01J37/10;(IPC1-7):H01J33/00 |
主分类号 |
H01J33/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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