| 发明名称 |
PROCESS FOR DEPOSITION OF DIAMONDLIKE, ELECTRICALLY CONDUCTIVE AND ELECTRON-EMISSIVE CARBON-BASED FILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
HK1008688(A1) |
申请公布日期 |
2003.04.04 |
| 申请号 |
HK19980108859 |
申请日期 |
1998.07.03 |
| 申请人 |
VEECO INSTRUMENTS INC. |
发明人 |
BALDWIN, DAVID A.;MICHEL, STEPHEN L. |
| 分类号 |
C30B25/02;C23C16/02;C23C16/26;C23C16/513;C30B25/10;C30B29/04;(IPC1-7):C23C |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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