| 发明名称 |
SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2003100840(A) |
申请公布日期 |
2003.04.04 |
| 申请号 |
JP20010293395 |
申请日期 |
2001.09.26 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
NISHIMURA JOICHI;MORINISHI TAKEYA |
| 分类号 |
B65G49/06;B65G49/07;C23C16/448;H01L21/304;H01L21/31;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B65G49/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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