| 发明名称 |
CLOSED PROCESSING DEVICE AND METHOD OF LOADING WORK INTO THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2003100697(A) |
申请公布日期 |
2003.04.04 |
| 申请号 |
JP20010298423 |
申请日期 |
2001.09.27 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
MORI HIROYUKI;NIBUYA TAKAYUKI;GOTO HIDETO |
| 分类号 |
H01L21/677;H01L21/304;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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