Substratträgerhandhabungssystem, Programm, computerlesbares Medium und Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung

摘要

Ein Substratträgerhandhabungssystem wird bereitgestellt, das eine Substratbearbeitungseinrichtung (1), einen Trägerreiniger (6), einen Trägerförderer (21) und eine Steuerung (30) aufweist. Die Substratbearbeitungseinrichtung (1) entnimmt einem Träger, in dem ein Substrat aufbewahrt ist, das Substrat, führt an dem Substrat eine bestimmte Bearbeitung durch und überträgt das verarbeitete Substrat, das in einem Träger aufbewahrt wird. Der Trägerreiniger (6) reinigt den Träger. Der Trägerförderer (21) fördert den Träger zwischen der Substratbearbeitungseinrichtung (1) und dem Trägerreiniger (6). Die Steuerung (30) steuert die Substratbearbeitungseinrichtung (1), den Trägerreiniger (6) und den Trägerförderer (21).