制作超微细图形的装置

摘要

本发明是一种用原子制作任意超微细图形的装置，由原子束发生器、真空室、通电线圈、激光束、计算全息编码片和基片等构成。它利用磁场、激光场使准直原子束冷却、减速，形成准单色德布罗意波；使准单色德布罗意波通过计算全息编码片孔产生衍射和干涉，在工件台上直接堆积制作出任意形状的超微细图形。该装置克服了现有技术的缺陷，可广泛应用于制作包含纳米图形的超微细三维图形、纳米材料和纳米器件等的研究和开发。

主权项

1、一种制作超微细图形的装置，包括原子束发生器(1)、真空室(9)、基片(14)和工件台(15)，其特征在于：真空室(9)内有通电线圈(4)、第一激光束(5)和第二激光束(7)、计算全息编码片(10)；原子束流(3)射入真空工作室(9)，通过通电线圈(4)产生的磁场、第一激光束(5)和第二激光束(7)交叉形成的磁光陷阱区(6)、以及磁光陷阱区(6)下面的计算全息编码片(10)，在工件台(15)的基片(14)上形成任意超微细图形(13)。