| 主权项 |
1.一种晶圆固定及遮蔽装置,适用于将晶圆设置于蚀刻机台,该固定及遮蔽装置包括:一遮蔽环,放置于该蚀刻机台上,用以遮蔽该蚀刻机台,且具有一环槽;一内环,设置于该环槽,用以放置该晶圆;一盖环,设置于该遮蔽环上,用以夹持该晶圆于该内环与该盖环之间,而露出该晶圆,以进行蚀刻;以及复数连接构件,设置于该遮蔽环与该盖环之间,用以连接该遮蔽环与该盖环。2.如申请专利范围第1项所述之晶圆固定及遮蔽装置,其中该遮蔽环与该盖环的对应处分别具有导孔,该等连接构件为导销,用以插设于该等导孔,以将该遮蔽环与该盖环予以连结。3.如申请专利范围第2项所述之晶圆固定及遮蔽装置,其中该盖环与该内环之材质为矽。4.如申请专利范围第3项所述之晶圆固定及遮蔽装置,其中该等连接构件之材质为非导电材料。5.如申请专利范围第4项所述之晶圆固定及遮蔽装置,其中该遮蔽环之材质为二氧化矽。图式简单说明:第1(a)图系表示习知装置之上视图。第1(b)图系表示习知装置之侧视图。第2(a)图系表示本发明装置之上视图。第2(b)图系表示本发明装置之侧视图。 |
