VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER HALBLEITERSTRUKTUR.,申请号DE19873780369-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER HALBLEITERSTRUKTUR.
摘要
申请公布号	DE3780369(D1)	申请公布日期	1992.08.20
申请号	DE19873780369	申请日期	1987.01.27
申请人	HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	HOMMA, HIDEO, HITACHI-SHI, JP;MISAWA, YUTAKA, KATSUTA-SHI, JP;MOMMA, NAOHIRO, HITACHI-SHI, JP
分类号	H01L27/06;H01L21/033;H01L21/3213;H01L21/331;H01L21/336;H01L21/8234;H01L21/8249;H01L29/73;H01L29/732;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/285;H01L21/00	主分类号	H01L27/06
代理机构		代理人
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