| 发明名称 |
DISPOSITIF DE VISUALISATION BIDIMENSIONNELLE ELLIPSOMETRIQUE D'UN ECHANTILLON, PROCEDE DE VISUALISATION ET PROCEDE DE MESURE ELLIPSOMETRIQUE AVEC RESOLUTION SPATIALE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2818376(B1) |
申请公布日期 |
2003.03.28 |
| 申请号 |
FR20000016529 |
申请日期 |
2000.12.18 |
| 申请人 |
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE CNRS |
发明人 |
AUSSERRE DOMINIQUE;VALIGNAT MARIE PIERRE |
| 分类号 |
G01N21/64;G01B11/06;G01N21/17;G01N21/21;G01N21/27;G01N37/00;(IPC1-7):G01N21/21 |
主分类号 |
G01N21/64 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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