| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR READING ID CODE OF WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2003092334(A) |
申请公布日期 |
2003.03.28 |
| 申请号 |
JP20010283837 |
申请日期 |
2001.09.18 |
| 申请人 |
TOKYO SEIMITSU CO LTD |
发明人 |
MORI TOSHIRO;ICHIKAWA TAKEKIYO;YAMAGUCHI AKIRA |
| 分类号 |
H01L21/66;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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