| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Steuerung des Datenflusses beim Einsatz von Retikeln in einer Halbleiter-Bauelement Produktion, dadurch gekennzeichnet, dass den Retikeln jeweils eindeutig ein strukturierter Retikeldatensatz zugeordnet ist, wobei der Inhalt des Retikeldatensatzes in Abhängigkeit vom Herstellungsprozess eines Halbleiter-Bauelementes automatisch geändert und / oder ergänzt wird. Damit kann die Verwendung von Retikeln in einer Halbleiter-Bauelement Fertigung effizient gesteuert werden.</p> |
