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发明名称 VERFAHREN UND GERÄT FÜR WAFERROTATION
摘要
申请公布号 DE60001448(D1) 申请公布日期 2003.03.27
申请号 DE20006001448 申请日期 2000.03.08
申请人 ASM INTERNATIONAL N.V., BILTHOVEN;KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN 发明人 KUZNETSOV, IVANOVICH;RADELAAR, SIJBRAND;VAN DER SANDEN, CORNELIS;RUIJL, ANJES
分类号 B65G49/07;H01L21/027;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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