密集波分复用滤波器沉积系统

摘要

一种密集波分复用(DWDM，Dense WavelengthDivision Multiplexing)滤波器沉积系统，其利用四分之一波长的天线和电子回旋加速谐振磁体提高等离子密度以改进密集波分复用滤波器的性能。

主权项

1.一密集波分复用滤波器沉积系统，其特征在于包括一空腔、一置于空腔中的目标靶、一轰击目标靶的稳定离子源、一邻近目标靶的四分之一波长天线、一形成于目标靶和天线之间的电子加速谐振区域、一通过天线调谐的用以获得高密度等离子体的自动化微波、一位于电子加速谐振区域用以在其上形成等离子体的可旋转基底。