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发明名称
摘要
申请公布号 JP3388949(B2) 申请公布日期 2003.03.24
申请号 JP19950192978 申请日期 1995.07.28
申请人 发明人
分类号 C23C4/06;C23C4/18;C23C30/00;(IPC1-7):C23C4/06 主分类号 C23C4/06
代理机构 代理人
主权项
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