POSITION MEASURING SYSTEM AND METHOD FOR OPERATING SUCH A POSITION MEASURING SYSTEM

摘要

Es wird eine Positionsmesseinrichtung sowie ein Verfahren zum Betrieb einer Positionsmesseinrichtung angegeben, insbesondere zur Erzeugung von mindestens einem Referenzimpulssignal. Die Positionsmesseinrichtung umfasst einen Massstab mit einer Spurt in der eine periodische Inkrementalteilung angeordnet ist, die sich in einer Messrichtung erstreckt. Die Spur besitzt an mindestens einer definierten Referenzposition eine Unstetigkeit bzgl. einer optischen Eigenschaft. Ferner umfasst die Positionsmesseinrichtung eine Abtasteinheit, die relativ zum Masstab in Messrichtung über eine bestimmte Messstrecke beweglich ist und neben einer Lichtquelle mehrere Detektorelemente zur photoelektrischen Abtastung der Inkrementalteilung besitzt. In benachbarten Abschnitten der Messstrecke weist die Inkrementalteilung unterschiedliche Transversal-Substrukturen auf die auftreffende Strahlenbündel in erste und zweite Raumrichtungen ablenkt. Auf Seiten der Abtasteinheit sind Referenzimpuls-Detektorelemente in den verschiedenen Raumrichtungen angeordnet, an denen Referenzimpuls-Teilsignale bzw. Bereichssignale anliegen, aus deren Verarbeitung das Referenzimpulssignal resultiert.