钛酸铋钠系列薄膜材料及其制备方法

摘要

本发明属于薄膜技术领域。本发明的主要内容是钛酸铋钠系列薄膜材料是由钛、铋、钠、钡、铅、锶、钙和氧离子组成的，其组成的分子式为(1－X)(Bi_0.5Na_0.5)TiO₃+XMTiO₃，X的取值为0～0.6；M代表钡、铅、锶或钙。该薄膜材料是采用金属有机溶液沉积的方法制备出来的。它克服了钛酸铋钠陶瓷在铁电区电导率偏高，烧结温度窄，易吸水等弱点。本发明具有良好的存储特性和热释电性，可广泛用于微电子，光电子，计算机，传感器，航空航天技术等领域。

主权项

1.一种钛酸铋钠系列薄膜材料，其特征在于它是由钛、铋、钠、钡、铅、锶、钙和氧离子组成的，其组成分子式为(1-X)(Bi1/2Na1/2)TiO3+XMTiO3，其中X的取值为0～0.6；M为钡、铅、锶或钙元素中的任意一种。