Zoom system for illumination apparatus

摘要

Ein Zoom-System für eine Beleuchtungseinrichtung einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage ist als Brennweiten-Zoom aufgebaut. Die Linsen des Zoom-Systems definieren eine Objektebene (6) und eine Bildebene (8), welche eine Fourier-transformierte Ebene zur Objektebene ist. Das System zeichnet sich durch eine große Dehnung der in der Bildebene ausgeleuchteten Fläche aus, wobei Dehnungsfaktoren größer als vier möglich sind. Dies wird durch große Verschiebewege verschiebbarer Linsengruppen (33, 36) erreicht. <IMAGE>