发明名称 检测绕两轴的角速度的振动子和具有这种振动子的振动回转仪
摘要 一振动子包括一平板形振动体和四个从所述振动体外周四个部分的基本等分处朝向所述振动体中心设置的凹槽。一振动回转仪包括振动子以及一驱动装置和一检测装置。
申请公布号 CN1103044C 申请公布日期 2003.03.12
申请号 CN99108433.0 申请日期 1999.06.11
申请人 株式会社村田制作所 发明人 藤本克己
分类号 G01C19/56;G01P9/04 主分类号 G01C19/56
代理机构 上海专利商标事务所 代理人 张兰英
主权项 1.一种振动回转仪,它包括:一振动子,该振动子包括一平板形振动体和四个从所述振动体外周四个部分的基本等分处朝向所述振动体中心设置的凹槽,所述凹槽从所述振动体的一主表面延伸到相对的主表面;一使所述振动子以轴对称模式振动的驱动装置,该模式是在所述四个凹槽中的彼此相对的凹槽之间延伸的两个轴线作为两个节轴;以及一第一检测装置,检测由归因于加到所述振动子的第一回转角速度的第一Coriolis力引起的第一位移。
地址 日本京都府