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发明名称 Process for fabricating vertical transistors
摘要
申请公布号 EP1063694(B1) 申请公布日期 2003.03.12
申请号 EP20000304797 申请日期 2000.06.06
申请人 LUCENT TECHNOLOGIES INC. 发明人 HERGENROTHER, JOHN MICHAEL;MONROE, DONALD PAUL;WEBER, GARY ROBERT
分类号 H01L21/8232;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/336;H01L29/161;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/8232
代理机构 代理人
主权项
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