| 发明名称 |
Process for charged particle beam micro-machining of copper |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002336400(A1) |
申请公布日期 |
2003.03.10 |
| 申请号 |
AU20020336400 |
申请日期 |
2002.08.26 |
| 申请人 |
NPTEST, INC. |
发明人 |
TZONG-TSONG MIAU;JAVIER FERNANDEZ RUIZ;VLADIMIR V. MAKAROV |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/321 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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