发明名称 Halbleitervorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号 DE19818518(C2) 申请公布日期 2003.03.06
申请号 DE1998118518 申请日期 1998.04.24
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 TADOKORO, CHIHIRO;YAMASHITA, JUNICHI
分类号 H01L21/265;H01L21/336;H01L29/08;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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