发明名称 Turbo molecular pump
摘要 Die Erfindung beschreibt eine Turbomolekularpumpe mit Rotor- (12) und Statorscheiben (14), die abwechselnd hintereinander angeordnet sind. Die Scheiben sind mit Tragringen (16, 18) versehen, an denen Schaufeln angebracht sind. Der Tragring (22) der dem höheren Druckbereich zugewandten Statorscheibe (20) ist großflächig mit einem Gehäusebauteil (24) verbunden oder er bildet mit diesem eine einstückige Baueinheit. <IMAGE>
申请公布号 EP1288502(A2) 申请公布日期 2003.03.05
申请号 EP20020017820 申请日期 2002.08.08
申请人 PFEIFFER VACUUM GMBH 发明人 STANZEL, JOERG
分类号 F04D19/04;F04D29/54;F04D29/58;(IPC1-7):F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
地址