摘要 |
Die Erfindung beschreibt eine Turbomolekularpumpe mit Rotor- (12) und Statorscheiben (14), die abwechselnd hintereinander angeordnet sind. Die Scheiben sind mit Tragringen (16, 18) versehen, an denen Schaufeln angebracht sind. Der Tragring (22) der dem höheren Druckbereich zugewandten Statorscheibe (20) ist großflächig mit einem Gehäusebauteil (24) verbunden oder er bildet mit diesem eine einstückige Baueinheit. <IMAGE>
|