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发明名称 Method of aligning layers in a semiconductor device
摘要
申请公布号 EP0780886(B1) 申请公布日期 2003.03.05
申请号 EP19960830636 申请日期 1996.12.18
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED;TEXAS INSTRUMENTS ITALIA S.P.A. 发明人 AUZINO, LUIGI;CANGIANO, AGOSTINO
分类号 H01L21/027;G03F9/00;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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