Method of producing surface wave components

摘要

Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines OFW-Bauelements (10) mit einem Substrat (1) beschrieben, auf dem eine Vielzahl von strukturierten leitfähigen Schichten (2, 8) lateral nebeneinander angeordnet werden, wobei eine erste Abscheidungsphase, bei der mit vorbestimmten lateralen Abständen (4) erste leitfähige Schichten (2) erzeugt werden, eine allseitige Belegung der ersten leitfähigen Schichten (2) mit Trennschichten (3) aus einer organischen Substanz, wobei die Oberfläche (5) des Substrats (1) in den Abständen (4) frei bleibt, und eine zweite Abscheidungsphase vorgesehen sind, bei der auf dem Substrat (1) zwischen den ersten leitfähigen Schichten (2) zweite leitfähige Schichten (8) erzeugt werden, die von den ersten leitfähigen Schichten (2) durch die Trennschichten (3) getrennt sind. <IMAGE>