| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR CONTROLLING ION IMPLANTATION DURING VACUUM FLUCTUATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1287544(A1) |
申请公布日期 |
2003.03.05 |
| 申请号 |
EP20010928753 |
申请日期 |
2001.04.23 |
| 申请人 |
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES INC. |
发明人 |
WALTHER, STEVEN, R. |
| 分类号 |
H01J37/304;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/18 |
主分类号 |
H01J37/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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