发明名称 用于对正装置之膜片承载台
摘要 本发明为一种用于对正装置之膜片承载台,能避免印刷电路板在曝光时形成弯曲而产生曝光的问题,以顺利完成高精确度的曝光程序;较佳实施例中,具有小孔洞的一吸取板设置于一支撑部,支撑部上提供有一大于孔洞的空间,孔洞连于空间并经由一空气通道和一底部通道达至一真空装置,吸取孔洞的直径小于0.4mm,使得印刷电路板不会形成弯曲变形而产生曝光的问题。
申请公布号 TW522289 申请公布日期 2003.03.01
申请号 TW091108354 申请日期 2002.04.23
申请人 亚多特克工程股份有限公司 发明人 井田良一
分类号 G03F9/00 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人 洪澄文 台北市大安区信义路四段二七九号三楼
主权项 1.一种用于对正装置之膜片承载台,用于制作印刷电路板,包括:复数孔洞,以吸起该电路板,该电路板于该膜片承载台的一表面上具有一孔径;以及一吸取装置,连于该孔洞以吸起该电路板;其中该孔洞具有的一尺寸将使得该电路板被吸起时不致于弯曲而造成曝光的问题。2.一种用于对正装置之膜片承载台,用于制作印刷电路板,包括:一吸取板,具有复数孔洞以吸起该电路板;以及一吸取装置,连于该孔洞以经由该孔洞吸起该电路板;其中该孔洞具有的一尺寸将使得该电路板被吸起时不致于弯曲而造成曝光的问题。3.一种用于对正装置之膜片承载台,用于制作印刷电路板,包括:一吸取板,具有复数孔洞以吸起该电路板;一支撑部,具有一吸取用空间,连于该吸取板的该孔洞以吸起该电路板;以及一吸取装置,连于该孔洞以经由该孔洞吸起该电路板;其中该孔洞具有的一尺寸将使得该电路板被吸起时不致于弯曲而造成曝光的问题。4.如申请专利范围第1项所述之膜片承载台,其中该孔洞的直径小于0.4 mm。5.如申请专利范围第2项所述之膜片承载台,其中该孔洞的直径小于0.4 mm。6.如申请专利范围第3项所述之膜片承载台,其中该孔洞的直径小于0.4 mm。7.如申请专利范围第3项所述之膜片承载台,其中该吸取用空间于该支撑部的一平面形成开口,该吸取板并设置在该支撑部的该平面上。8.如申请专利范围第3项所述之膜片承载台,其中该吸取用空间的尺寸小到使得该吸取板不会形成变曲而造成曝光的问题。9.如申请专利范围第3项所述之膜片承载台,其中该支撑部具有一空气通道,该空气通道的直径小于该吸取用空间的直径。图式简单说明:第1图绘示本发明一较佳实施例的一立体示意图。第2图绘示上述本发明较佳实施例部份位置的分解示意图。第3图绘示上述本发明较佳实施例的部份剖视图。第4图绘示本发明另一较佳实施例的一立体示意图。
地址 日本
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