| 发明名称 |
Kompositkörper auf Aluminiumnitridbases, Material für elektronische Funktionen, elektrostatische Einspannvorrichtung und Verfahren zum Herstellen eines Kompositkörpers auf Aluminiumnitridbasis |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69810699(D1) |
申请公布日期 |
2003.02.20 |
| 申请号 |
DE1998610699 |
申请日期 |
1998.06.01 |
| 申请人 |
NGK INSULATORS, LTD. |
发明人 |
KATSUDA, YUJI;ARAKI, KIYOSHI;OHASHI, TSUNEAKI |
| 分类号 |
B23Q3/15;C04B35/581;H01L21/683;H01L23/15;(IPC1-7):C04B35/581;H01L21/68 |
主分类号 |
B23Q3/15 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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