低介电常数绝缘膜用组合物、绝缘膜形成方法及电子零件

摘要

一种用于形成绝缘膜的组合物，其包括被溶于溶剂中的一种低介电常数聚合材料及一种升华材料。优选低介电常数聚合材料包括聚芳醚。优选升华材料包括硅氧烷化合物，该化合物具有封闭立体结构，其角顶具有原子，诸如被称为Si－T8及Si－T12的那些。也公开了一种形成低介电常数绝缘膜的方法和利用由此形成的绝缘膜的电子零件或部件。

主权项

1、一种用于形成绝缘膜的组合物，包括被溶于溶剂中的低介电常数聚合材料及升华材料。