| 发明名称 | 根据聚焦离子束加工制作的扫描型显微镜用探针 | ||
| 摘要 | 本发明的根据聚焦离子束形成的扫描型显微镜用探针通过固定于悬臂(4)的纳米管(12)的前端(14a)获得试样表面的物性信息；其特征在于：在聚焦离子束装置(2)内由聚焦离子束I分解有机气体G，由生成的分解成分的分解堆积物(18)固定纳米管(12)和悬臂(4)。另外，使用聚焦离子束I除去附着于前端部(14)的不要堆积物(24)，切断纳米管的不要部分，控制探针的长度，在前端部(14)中注入离子，进行该纳米管的探针的改性。为此，可实现能够固定和切断纳米探针而且能够改善纳米管探针的材质的扫描型显微镜用探针。 | ||
| 申请公布号 | CN1397012A | 申请公布日期 | 2003.02.12 |
| 申请号 | CN01804105.1 | 申请日期 | 2001.09.28 |
| 申请人 | 大研化学工业株式会社;精工电子有限公司;中山喜万 | 发明人 | 中山喜万;秋田成司;原田昭雄;大川隆;高野雄一;安武正敏;白川部喜治 |
| 分类号 | G01N13/16;G12B21/08 | 主分类号 | G01N13/16 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王以平 |
| 主权项 | 1.一种根据聚焦离子束加工获得的扫描型显微镜用探针，通过固定于悬臂的纳米管探针的前端而获得试样表面的物性信息；其特征在于：在聚焦离子束装置内通过离子束分解有机气体，通过生成的分解成分的堆积物来固定纳米管和悬臂。 | ||
| 地址 | 日本大阪 | ||