Testgerät für Halbleitervorrichtungen und Testverfahren für Halbleitervorrichtungen

摘要

Ein Testgerät für Halbleitervorrichtungen (4A) weist eine Selbsttestschaltung auf, die auf der Halbleitervorrichtung getragen ist und zum Testen der Halbleitervorrichtung dient. Ein Prüfgerät (50) liefert Datensignale, Taktsignale und Erwartungswertdaten an die Selbsttestschaltung. Eine Vergleichs- und Beurteilungsschaltung (32) vergleicht das Resultat des Testes mit den Erwartungswertdaten zum Beurteilen der Qualität der Halbleitervorrichtung. Eine nichtflüchtige Speicherzelle (33) speichert das Resultat der Beurteilung.