形成微图案的光照方法和装置

摘要

本发明提供一种形成微图案的光照方法装置，它能在减少反差间隙的同时，使反差获得改善，从而实现半导体器件的高集成度。其中采用偏振光作为光源，并调节偏振光的偏振角和椭圆率，由此优化反差和反差间隙另外，光照装置包含从光源发射的光偏振用的偏振片，偏振片调整决定反差的偏振角和决定反差间隙的椭圆率。

主权项

1.一种通过光源成像于晶圆片上形成图案的光照方法，其特征在于包含以下步骤：提供偏振光作为光源；调节决定反差的偏振光的偏振角；调整决定反差间隙的偏振光的椭圆率；由此优化照射到晶圆片上的图像的反差和反差间隙。