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发明名称
Apparatus for scanning a surface with a beam of charged particles
摘要
申请公布号
GB976164(A)
申请公布日期
1964.11.25
申请号
GB19620046557
申请日期
1962.12.10
申请人
VARIAN ASSOCIATES
发明人
NUNAN CRAIG SPENCER
分类号
H01J33/00
主分类号
H01J33/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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