| 发明名称 |
Method and apparatus for micro-jet enabled, low energy ion generation and transport in plasma processing |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002313697(A1) |
申请公布日期 |
2003.01.29 |
| 申请号 |
AU20020313697 |
申请日期 |
2002.07.12 |
| 申请人 |
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
PALANI SAKTHIVEL;ASEEM SRIVASTAVA;HERBERT SAWIN |
| 分类号 |
H05H1/46;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32;H01L21/311 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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