| 发明名称 |
Corpuscular beam apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0893816(A3) |
申请公布日期 |
2003.01.29 |
| 申请号 |
EP19980111715 |
申请日期 |
1998.06.25 |
| 申请人 |
LEO ELEKTRONENMIKROSKOPIE GMBH |
发明人 |
WEIMER, EUGEN, DR. |
| 分类号 |
H01J37/248;H01J37/04;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/04 |
主分类号 |
H01J37/248 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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