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发明名称 MICROBOLOMETER AND MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 EP1279012(A2) 申请公布日期 2003.01.29
申请号 EP20010957063 申请日期 2001.04.24
申请人 RAYTHEON COMPANY 发明人 GOOCH, ROLAND, W.;SCHIMERT, THOMAS, R.;MCCARDEL, WILLIAM, L.;RITCHEY, BOBBI A.
分类号 G01J1/02;G01J5/02;G01J5/20;H01L27/146;H01L37/00;(IPC1-7):G01J5/20 主分类号 G01J1/02
代理机构 代理人
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