发明名称 电容器下电极的结构
摘要 一种电容器下电极的结构,其较不易在后续的清洗工艺中被清洗溶液冲倒。当由基底上方观视时,此电容器下电极呈一狭长形,此狭长形具有两端与两侧边,其中两端皆呈尖凸状,且两侧边皆向内凹入。
申请公布号 CN1393909A 申请公布日期 2003.01.29
申请号 CN02124310.7 申请日期 2002.06.14
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 孙嘉骏;林思闽;王泉富
分类号 H01L21/28;H01L21/70 主分类号 H01L21/28
代理机构 北京集佳专利商标事务所 代理人 王学强
主权项 1.一种电容器下电极的结构,其特征是,该电容器下电极的俯视图呈一狭长形,该狭长形具有两端及两侧边,其中该两端皆呈一尖凸状,且该两侧边皆向内凹入。
地址 台湾省新竹科学工业园区新竹市力行二路三号