发明名称 | 电容器下电极的结构 | ||
摘要 | 一种电容器下电极的结构,其较不易在后续的清洗工艺中被清洗溶液冲倒。当由基底上方观视时,此电容器下电极呈一狭长形,此狭长形具有两端与两侧边,其中两端皆呈尖凸状,且两侧边皆向内凹入。 | ||
申请公布号 | CN1393909A | 申请公布日期 | 2003.01.29 |
申请号 | CN02124310.7 | 申请日期 | 2002.06.14 |
申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 孙嘉骏;林思闽;王泉富 |
分类号 | H01L21/28;H01L21/70 | 主分类号 | H01L21/28 |
代理机构 | 北京集佳专利商标事务所 | 代理人 | 王学强 |
主权项 | 1.一种电容器下电极的结构,其特征是,该电容器下电极的俯视图呈一狭长形,该狭长形具有两端及两侧边,其中该两端皆呈一尖凸状,且该两侧边皆向内凹入。 | ||
地址 | 台湾省新竹科学工业园区新竹市力行二路三号 |