具有甚高频并联谐振天线的等离子体处理设备

摘要

本发明涉及一种等离子体处理设备，在其中进行使用等离子体的半导体装置的制造过程，所述设备包括：在其中进行半导体装置制造过程的真空室；产生甚高频(VHF)电能的VHF电源；VHF并联谐振天线，它具有多个互相并联连接的天线线圈以及串联地插入安装在天线线圈中的多个可变电容，天线安装在真空室的外面的上部，并从VHF电源供给VHF电能；以及用于VHF电能和VHF并联谐振天线间阻抗匹配的阻抗匹配盒。优选的是，可变电容是同轴电容，其包括：第一绝缘管；分别从第一绝缘管的两个端部延伸出来的第一两个金属管；围绕第一绝缘管并且部分围绕装在邻接第一绝缘管两侧的第一两个金属管的第二绝缘管；围绕第二绝缘管并且其安装能沿第二绝缘管外侧表面滑动的第二金属管。

主权项

1、一种等离子体处理设备，在其中进行使用等离子体的半导体装置的制造过程，所述设备包括：在其中进行半导体装置制造过程的真空室；产生甚高频(VHF)电能的VHF电源；VHF并联谐振天线，它具有多个互相并联连接的天线线圈以及串联地插入安装在天线线圈中的多个可变电容，天线安装在真空室的外面的上部，并从VHF电源供给VHF电能；用于VHF电能和VHF并联谐振天线间阻抗匹配的阻抗匹配盒。