Device and method for analysing of atomic and/or molecular elements with wavelength dispersive x-ray spectrometric devices

摘要

Es wird eine Einrichtung (10) und ein Verfahren zur Analyse atomarer und/oder molekularer Elemente mittels wellenlängendispersiver, röntgenspektrometrischer Einrichtungen bzw. Verfahren vorgeschlagen, umfassend wenigstens eine eine Multilayerschicht (12) aufweisende Spiegel- oder Fokussierungseinrichtung (11), insbesondere bei einer solchen Einrichtung bzw. einem solchen Verfahren, bei der bzw. bei dem von einer zu analysierenden Probe (14) durch einfallende primäre Röntgenoder Elektronenstrahlen (15) induzierte Fluoreszenzstrahlen (16) vor Auftreffen auf einem Meß- oder Analysedetektor (17) auf die Spiegel- oder Fokussierungseinrichtung (11) geleitet wird, wobei die Multilayerschicht (12) durch wenigstens ein Schichtenpaar gebildet wird und wobei ein erstes Schichtelement (131) des Schichtenpaares (131, 132) durch Lanthan gebildet wird. Dabei wird das zweite Schichtelement (132) des Schichtenpaares (131, 132) durch Kohlenstoff gebildet, auf die die Fluoreszenzstrahlen geleitet und von dort reflektiert werden. <IMAGE>