集成电路键合线的连续热处理高精度温控方法

摘要

本发明是由电压调整器、温度传感器、可控硅温度控制器、管形隧道电加热装置、放线系统、收线系统组成。主要特征：当放线系统的线材通过管型隧道电加热装置时，由电压调整器对管型隧道加热器一个特定的加热功率特性进行粗调，在温度传感器信号输入给可控硅温控器时，温控器在设定特性和输入信号的比较下，由温控器控制可控硅对加热器进行电压精密微调，达到加热能量与耗热能量的平衡。当放线、收线与温度达到最佳工艺点时，达到恒温、恒速、恒力学性能的目的，保持产品批次的一致性。

主权项

1、一种集成电路键合线的连续热处理高精度温控方法，其特征在于：具有电压调整器、温度传感器、可控硅温度控制器、管形隧道电加热装置、放线系统、收线调速系统，利用经放线系统后的单丝连续通过恒温管形隧道电加热装置，收线调速系统以一定的速度连续放收，采用不同的行线速度和加热温度，实现对不同规格的丝材进行连续热处理。