| 发明名称 | 金属研磨液材料、金属研磨液、其制造方法及使用它的研磨方法 | ||
| 摘要 | 本发明可以提供一种含有氧化剂、氧化金属溶解剂、保护膜形成剂、该保护膜形成剂助剂和水的金属研磨液，其制造方法及使用其的研磨方法。而且作为这种金属研磨液的制备材料，本发明还可以提供一种含有氧化金属溶解剂、保护膜形成剂和该保护膜形成剂助剂的金属研磨液材料。 | ||
| 申请公布号 | CN1392215A | 申请公布日期 | 2003.01.22 |
| 申请号 | CN02123007.2 | 申请日期 | 1999.12.28 |
| 申请人 | 日立化成工业株式会社 | 发明人 | 内田刚;星野铁哉;寺崎裕树;上方康雄;小山直之;本间喜夫;近藤诚一 |
| 分类号 | C09K3/14;H01L21/304 | 主分类号 | C09K3/14 |
| 代理机构 | 北京银龙专利代理有限公司 | 代理人 | 熊志诚 |
| 主权项 | 1.一种即使在0℃保存也不会析出固体的金属研磨液材料。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||