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发明名称
CHEMISCH-MECHANISCHES POLIERVERFAHREN MIT MEHREREN POLIERKISSEN
摘要
申请公布号
DE69904313(D1)
申请公布日期
2003.01.16
申请号
DE19996004313
申请日期
1999.04.06
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
SOMEKH, SASSON
分类号
B24B7/22;B24B37/04;B24B49/12;B24D13/14;(IPC1-7):B24B37/04
主分类号
B24B7/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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