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发明名称 Halbleitervorrichtung und Verfahren für ihre Herstellung
摘要
申请公布号 DE69625132(D1) 申请公布日期 2003.01.16
申请号 DE19966025132 申请日期 1996.06.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 SHIMADA, YASUHIRO;MATSUURA, TAKETOSHI;UEMOTO, YASUHIRO;AZUMA, MASAMICHI;INOUE, ATSUO
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/108;H01L29/92;(IPC1-7):H01L21/320;H01L27/115 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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