真空室内在线更换基片的装置

摘要

一种真空室内实现在线更换基片的装置，包括由空心转轴和同心置放在空心转轴内的实心转轴构成的转轴。当空心转轴与实心转轴由两顶丝固定在一起时，带动基片夹具与挡板一起转动。当两顶丝松开时，空心转轴与实心转轴分别带动基片夹具和挡板转动，改变基片夹具与挡板的相对位置。从而，实现在不破坏真空室内的真空度情况下，在线更换待镀膜的基片。有两种结构供选择。与在先技术相比，本发明具有结构简单，在线更换待镀膜基片操作方便，使用本发明的装置，能够大大缩短薄膜新产品的开发周期。

主权项

1.一种真空室内实现在线更换基片的装置，包括由真空罩(141)构成的真空室(14)，在真空室(14)内的底板上置有蒸发源(1)，由真空罩(141)顶上伸进真空室(14)内有转轴(6-7)，在真空室(14)外的转轴(6-7)上带有的副齿轮(4)与传动轴(12)上的主齿轮(13)啮合，传动轴(12)通过连接元件(11)与动力轮(10)相连，其特征在于所说的转轴(6-7)是由空心转轴(6)和在空心转轴(6)内同中心轴线置放的实心转轴(7)构成，在真空室(14)外的空心转轴(6)上有第一顶丝(5)和第二顶丝(9)，在实心转轴(7)的顶端上置有螺母(8)；在伸进真空室(14)内的空心转轴(6)的底端上装有置放待镀膜基片的基片夹具(3)，或者装有第二主齿轮(15)与第二实心转轴(17)上的第二副齿轮(18)啮合，在第二实心转轴(17)的底端上装上置放待镀膜基片的基片夹具(3)；在伸进真空室(14)内的实心转轴(7)的底端上，在基片夹具(3)与蒸发源(1)之间装有挡板(2)，或者在实心转轴(7)的底端上装有第三主齿轮(16)与连接杆(20)上的第三副齿轮(19)啮合，在连接杆(20)的底端上，在基片夹具(3)与蒸发源(1)之间装上挡板(2)。