| 发明名称 |
Method and apparatus for the optical determination of a surface profile of an object |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1199542(A3) |
申请公布日期 |
2003.01.15 |
| 申请号 |
EP20010124014 |
申请日期 |
2001.10.09 |
| 申请人 |
LEICA MICROSYSTEMS IMAGING SOLUTIONS LTD. |
发明人 |
SIECKMANN, FRANK |
| 分类号 |
G01B11/24;(IPC1-7):G01B11/24;G01B9/04;G02B21/00 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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