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发明名称 Method and apparatus for forming an optical multilayer filter
摘要
申请公布号 EP1170396(A3) 申请公布日期 2003.01.02
申请号 EP20010114828 申请日期 2001.06.28
申请人 JAPAN AVIATION ELECTRONICS INDUSTRY, LIMITED 发明人 NISHIDA, EMIKO;UEHARA, NOBORU
分类号 G01B11/06;C23C14/54;G02B5/28;(IPC1-7):C23C14/54;G02B5/20 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
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