发明名称 HYDROGENATING A LAYER OF AN ANTIREFLECTION COATING
摘要
申请公布号 EP1268871(A1) 申请公布日期 2003.01.02
申请号 EP20000988169 申请日期 2000.12.19
申请人 SOUTHWALL TECHNOLOGIES, INC. 发明人 WOODARD, FLOYD, E.
分类号 B32B9/00;B32B17/10;C23C14/08;G02B1/11;H01J29/89;(IPC1-7):C23C14/00;B32B3/00;B32B7/00;B32B7/02;B32B17/00;B32B18/00;B32B19/00;C23C14/32 主分类号 B32B9/00
代理机构 代理人
主权项
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