发明名称 |
HYDROGENATING A LAYER OF AN ANTIREFLECTION COATING |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP1268871(A1) |
申请公布日期 |
2003.01.02 |
申请号 |
EP20000988169 |
申请日期 |
2000.12.19 |
申请人 |
SOUTHWALL TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
WOODARD, FLOYD, E. |
分类号 |
B32B9/00;B32B17/10;C23C14/08;G02B1/11;H01J29/89;(IPC1-7):C23C14/00;B32B3/00;B32B7/00;B32B7/02;B32B17/00;B32B18/00;B32B19/00;C23C14/32 |
主分类号 |
B32B9/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|