| 摘要 |
<p>에어나이프 건조장치는 상단 에어나이프와 하단 에어나이프로 이루어지고, 상기 상하단 에어나이프는 서로 V자형의 대칭 구조를 띠고 있으며, 각각은 본체의 일측에 형성되어 에어가 흡입되는 흡입구와, 상기 흡입구를 통한 에어를 배출하는 배출구 및 상기 배출구의 크기를 조절하기 위한 슬릿조정부를 포함하여 이루어진 것다. 에어나이프의 위치 구성에 따라 유리기판 상에 잔존하는 순수 등의 세정액을 유리기판의 중앙 또는 양 모서리로 유도하여 제거할 수 있다.</p> |
