高压处理装置和方法

摘要

当基板清洗腔5的盖子打开,在腔中放置基板时,阀门V1,V2,V3,V4,和V6都关闭,只有阀门V5打开。于是,向基板清洗腔5提供气体CO₂以防止环境空气成分进入腔及进行腔的净化。随着基板清洗腔5的盖子关闭,阀门V6继续关闭以形成基板清洗腔的5的排出管线。于是,在基板清洗腔5和导管中的气体残余受到CO2气体的排斥而进入环境空气中,从而进行了腔的净化而防止了任何不需要的环境空气成分的滞留。随后,使用超临界CO₂清洗基板。当清洁循环线时,向循环线提供超临界CO₂。超临界CO₂流向基板清洗腔5。在流过包括循环管道11的所有循环线之后,超临界CO₂通过旁路管道12流向减压器7。滞留在循环线中的任何化学试剂或有机物质与超临界CO₂流体一起连续地流入到减压器8。

主权项

1.一种采用高压流体完成基板预定处理的高压处理装置，包括：高压流体供给部分，它用于将预定的处理流体转变为高压流体并提供高压流体；基板处理部分，它允许高压流体供给部分所提供的高压流体与基板相接触来处理放置于处理腔中的基板；高压流体回收部分，在高压流体用于处理在基板处理腔中的基板之后，该部分回收和重复使用高压流体；空气替换流体供给部分，它用于向处理腔提供空气替换流体，该空气替换流体具有与高压流体相同的成分；以及，排出部分，它用于排出在处理腔中的气体残余物，其中，在将基板放置于处理腔随即关闭处理腔之后直至开始提供高压流体的期间，空气替换流体供给部分向处理腔提供空气替换流体，以及排出部分利用所提供的空气替换流体排斥出在处理腔中的气体残余物。