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发明名称
摘要
申请公布号 JP2002544394(A) 申请公布日期 2002.12.24
申请号 JP20000618524 申请日期 2000.05.19
申请人 发明人
分类号 C23C16/42;C23C16/56;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/42 主分类号 C23C16/42
代理机构 代理人
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